MFM200系列氣體質量流量計

規格：MFM200

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性能標簽：

MFM200系列,氣體質量流量計,最大流量20000sccm,最大壓力500PSI

產品詳細描述

MFM 系列熱式質量流量計和MFC 系列熱式質量流量控制器為多功能產品，該產品的設計易于使用，方便進行流量檢測與控制。本類產品標準最大工作壓力為500psig，標準標定時采用空氣、氦氣、氫氣、二氧化碳，其他氣體標定可按要求進行。

所有流量計和控制器均由316L不銹鋼棒料制造，可用流量范圍從0-10sccm到0-20lpm，其精度可高達±1%滿刻度。并且每臺儀器都可提供可追溯的NIST標定證書。電路設計可以抗高射頻干擾，且響應速度很快，從而確保性能可靠和精度。

特點

• 全量程±1%精度
• 經過驗證的可靠性
• 量程–20,000 sccm
• NIST 可追溯校準

應用

• 泄漏測試
• 醫療研究
• 氣象淀積
• 研發和工藝流程
• 半導體制程
• 污染檢測
• 氣體混合
• 色譜分析

技術指標

MFM 200
精確度1 和線性度	±1% 量程
重復精度	±0.05% 量程
標準額定壓力	500 psig
壓力系數	典型-0.0067%/psi (0-1000 psig N2 )
整體泄漏率	<1x10-9 sccs
溫度系數 3	零 ±0.035% 量程/°C (0-60°C)
	量程 ±0.05%讀數/°C (0-60°C)
標準溫度和壓力	0°C和760托
電源	±15 VDC @ ±25 mA
流量信號	(本征線性) 0-5VDC
接觸介質的材料	316 SS, Viton®, 82/18 Au/Ni 釬焊, 微量銀焊接
連接器	15針微型 D
接頭	1/4" 和 1/8" 卡套
重量

1.8 lb (0.82 kg)

選型表

MFM-200訂貨號	流量范圍	1/4"卡套	1/8"卡套
MFM-200-2-10	0-10 SCCM		⊙
MFM-200-2-100	0-100 SCCM		⊙
MFM-200-2-500	0-500 SCCM		⊙
MFM-200-2-1000	0-1000 SCCM		⊙
MFM-200-4-3L	0-3 SLM	⊙
MFM-200-4-5L	0-5 SLM	⊙
MFM-200-4-10L	0-10 SLM	⊙
MFM-200-4-20L	0-20 SLM	⊙

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